擴散硅壓力變送器的被測介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室，低壓室壓力采用大氣壓或真空，作用在δ元件，即敏感元件的兩側(cè)隔離膜片上，通過 隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側(cè)。
擴散硅壓力變送器由測量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當兩側(cè)壓力不一致時，致使測量膜片產(chǎn)生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側(cè)電容量就不等，通過振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié)，轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號。每個月檢驗一次,主要是清除儀器內(nèi)的灰塵，安裝時應使變送器的壓力敏感件軸向垂直于重力方向, 如果安裝條件限制,則應安裝固定后調(diào)整變送器零位到標準值。
使擴散硅壓力變送器的膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。它是建立在微米/納米基礎上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應變計，經(jīng)500度以上高溫熔化玻璃，彈性體受壓變形后產(chǎn)生電信號，由帶微處理器的數(shù)字補償放大電路進行放大，經(jīng)數(shù)字軟件進行全智能溫度補償，輸出標準信號。在標準凈化生產(chǎn)過程中，擴散硅壓力變送器的參數(shù)嚴格受控，避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點，保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長期穩(wěn)定性。
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