上海市計量協(xié)會流量專業(yè)委員會，2011年工作會議暨技術(shù)交流會于2011年4月15日舉行。矽翔公司作為委員之一發(fā)表了《多用途MEMS氣體質(zhì)量流量計》的研究報告。
　　
　　多用途MEMS氣體質(zhì)量流量計
　　
　　蔣昌明，彭凱，劉永煜，阮繼亮，===========================================================================
　　
　　劉蕊
　　
　　摘要：氣體流量測量應(yīng)用zui廣泛的技術(shù)以變面積流量測量（轉(zhuǎn)子流量計）為主。此類流量計只能測量瞬時流量，且計量精度較低，無溫度壓力補償以及難以實現(xiàn)遠程信號輸出。隨著數(shù)據(jù)通信和遠程控制在工業(yè)過程和氣體測量領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，新技術(shù)的變革勢必很快到來。MEMS質(zhì)量流量技術(shù)使得產(chǎn)品的成本大幅降低，并具有多種輸出信號，包括累積流量、瞬時流量、報警信號及流量數(shù)據(jù)存儲等功能。MEMS質(zhì)量流量計系列還可實現(xiàn)電池供電，可便攜使用。該流量計還配備了工業(yè)標準的Modbus通訊協(xié)議，便于網(wǎng)絡(luò)管理和遠程通訊。