【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】近日，江蘇省市場監(jiān)督管理局發(fā)布了江蘇省地方計量技術(shù)規(guī)范《光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀校準規(guī)范》，實施日期2023年4月1日。
 

　　光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀是一種利用光學干涉原理對樣品表面三維形貌進行精密測量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達到亞納米級的分辨力，廣泛應(yīng)用于材料、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。大多數(shù)情況下，測量儀使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。
 

　　測量儀由主機與控制系統(tǒng)共同構(gòu)成，其坐標系與測量回路示意圖見圖1。根據(jù)干涉顯微鏡結(jié)構(gòu)的不同，測量儀分為邁克爾遜(Michelson)、米勞(Mirau)和林尼克(Linnik)三種。
 

　　本規(guī)范依據(jù)JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》編制，規(guī)范中的通用計量術(shù)語符合JJF 1001《通用計量術(shù)語及定義》，附錄中的測量不確定度示例依據(jù)JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》評定。
 

　　本規(guī)范主要參考ISO 25178-603:2013 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第603部分 非接觸 (相移干涉顯微) 式儀器的標稱特性(Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments) 、ISO 25178-604:2013 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第604部分 非接觸 (相干掃描干涉) 式儀器的標稱特性(Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal—Part 604 : Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments)等編制而成。
 

　　依據(jù)JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》，本規(guī)范在架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；概述；計量特性；校準條件；校準項目和校準方法；校準結(jié)果表達；復(fù)校時間間隔以及附錄等內(nèi)容。
 

　　校準環(huán)境條件：
 

　　儀器使用允許的環(huán)境條件，測量過程中應(yīng)測量和記錄環(huán)境的溫度、濕度。使用的標準器，應(yīng)在測量環(huán)境中穩(wěn)定不小于0.5h。實驗室內(nèi)應(yīng)無影響校準結(jié)果的振動、電磁輻射等因素。
 

　　測量標準及其他設(shè)備：
 

       校準結(jié)果表達：

 

　　經(jīng)校準的測量儀出具校準證書，校準證書內(nèi)容見附錄C。
 

　　復(fù)校時間間隔：
 

　　校準時間間隔，根據(jù)儀器使用情況由用戶自行確定，建議為一年。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀的校準。(更多詳情請見附件)