【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報道】近日，由工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進中心主持的國家重點研發(fā)計劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無損測量技術(shù)項目綜合績效評估會議在南京順利召開，我院課題負責(zé)人傅云霞帶領(lǐng)項目骨干前往參會。
 

　　會上，牽頭單位南京理工大學(xué)就項目綜合績效進行全面匯報，該項目按時完成所有指標(biāo)，經(jīng)過專家質(zhì)詢與財務(wù)審查等環(huán)節(jié)，最終綜合績效評估為優(yōu)秀。
 

　　上海計量院作為課題三《測量系統(tǒng)的量值溯源、校準(zhǔn)與誤差補償》承擔(dān)單位，圍繞硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)無損測量系統(tǒng)溯源及校準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù)問題，研制具有30：1高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)線寬與深度復(fù)合標(biāo)準(zhǔn)樣板，開發(fā)復(fù)合型高深寬比溝槽(臺階)標(biāo)準(zhǔn)樣板定標(biāo)技術(shù)，并通過標(biāo)準(zhǔn)樣板計量學(xué)參數(shù)對測量系統(tǒng)深寬比范圍、線寬范圍、深度范圍、線寬不確定度、深度不確定度進行校驗和評定，實現(xiàn)對 MEMS 高深寬比三維結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)有效校準(zhǔn)。
 

　　此次國家重點研發(fā)計劃項目順利結(jié)題，將有助于形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”有機結(jié)合創(chuàng)新體系，支撐我國 MEMS 產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。同時培養(yǎng)一批工藝檢測專業(yè)技術(shù)人才，帶動相關(guān)科技科學(xué)研究、技術(shù)產(chǎn)品開發(fā)、行業(yè)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。