【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】近日，由蘭州空間技術物理研究所 、蘭州文理學院等單位起草，TC18(全國真空技術標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《真空技術 真空計 磁懸浮轉子真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　高真空環(huán)境是航空航天、核工業(yè)、半導體、高端裝備制造等領域發(fā)展的重要保障，高真空測量精度直接決定了以上領域技術的快速發(fā)展，在該壓力范圍，國際公認的溯源/傳遞標準為磁懸浮轉子真空計。國內尚沒有關于磁懸浮轉子真空計校準方法、規(guī)范、測量不確定度等的完整、統(tǒng)一標準。本標準的起草將填補這一空白，為高真空范圍量值的準確可靠傳遞奠定基礎。
 

　　本標準的發(fā)布實施，可確保產(chǎn)品的安全性、可靠性和穩(wěn)定應用性，有效解決高真空范圍真空量值準確、可靠傳遞的難題。通過規(guī)定磁懸浮轉子真空計的通用術語、制造商應給出的參數(shù)以及使用時應該考慮的測量不確定度等內容，對規(guī)范市場、指導生產(chǎn)、提高產(chǎn)品的技術性能，提高磁懸浮轉子真空計的全生命周期內的可靠性，更好地滿足市場和使用需要，提升我國磁懸浮轉子真空計的技術水平，滿足我國航空航天、半導體、大科學工程等領域對真空量值溯源準確性日益提高的應用需求具有十分重要的作用。也為計量機構的校準及使用單位的實際使用提供了技術支撐。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件等同采用ISO 24477:2022《真空技術 真空計 磁懸浮轉子真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》。
 

　　本文件起草單位：蘭州空間技術物理研究所、東北大學、蘭州文理學院、沈陽真空技術研究所有限公司、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國計量學科研究院、中核第七研究設計院有限公司、合肥工業(yè)大學、沈陽匯真真空技術有限公司。
 

　　本文件界定了磁懸浮轉子真空計(SRGs)相關的術語，規(guī)定了SRGs所需參數(shù)，詳細描述了在使用這些真空計時的校準步驟和所需不確定度分量。本文件適用的壓力上限為2Pa。
 

　　校準不確定度：
 

　　應按照 ISO 27893 來評估 SRG 的校準不確定度。
 

　　校準 SRG 不確定度的各貢獻分量如下：
 

　　— 標準壓力的不確定度；
 

　　— 測量 RD 的不確定度；
 

　　— RD 的漂移；
 

　　— 示值的標準偏差；
 

　　— 外推至零點壓力的不確定度；
 

　　— 氣體純度；
 

　　— 溫度。
 

　　校準證書：
 

　　應按照 ISO 3567 編制 SRG 的校準證書。
 

　　如果校準的是讀數(shù)誤差，建議給出讀數(shù)相對誤差。
 

　　如果按照 8.2.3 的步驟進行校準，可給出修正公式(8)。
 

　　應給出校準時在控制單元內輸入的轉子直徑和密度值。
 

　　宜給出校準時的殘余阻尼或偏置。
 

　　使用時的測量不確定度：
 

　　如果測量低于 10 mPa 的壓力，宜在低于 SRG 分辨率極限的殘余壓力下測定 RD 及其與頻率的相關性 RD(ω)。SRG 分辨率用殘余阻尼的標準偏差表示。在低于 10 mPa 壓力的測量過程中，宜記錄ω，并減去相應的 RD(ω)。
 

　　雖然某些測量不確定度分量在校準過程中不重要，但在以后實際應用過程中會產(chǎn)生影響，例如：作為標準真空計時。
 

　　下面大致列出了一些測量不確定度的來源，作為對 8.3 的補充：
 

　　— 長期不穩(wěn)定性；
 

　　— 環(huán)境溫度漂移及測量；
 

　　— 真空計接觸的氣體的潔凈程度；
 

　　— 氣體成分和氣體種類。
 

　　更多詳情請見附件。