【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局下達(dá)的國家計量技術(shù)規(guī)范制修訂計劃，全國幾何量長度計量技術(shù)委員會已完成《自準(zhǔn)直儀檢定規(guī)程》《掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》的征求意見稿。為使國家計量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性，現(xiàn)向全國有關(guān)單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱：mtc2@nim.ac.cn。
 

　　《自準(zhǔn)直儀檢定規(guī)程》
 

　　自準(zhǔn)直儀是一種用于小角度測量的精密計量儀器。它與多齒分度臺配合使用，可用于測量正多面棱體、角度塊等角度量具。與正多面棱體配合可以用于測量多齒分度臺、轉(zhuǎn)臺等圓分度儀器。與平面反射鏡配合使用，可用于測量直線度、平面度、平行度、垂直度、楔角以及其他相對位置關(guān)系的測量要素。是角度計量中的重要儀器。按自準(zhǔn)直儀瞄準(zhǔn)方式不同可分為光學(xué)自準(zhǔn)直儀和光電自準(zhǔn)直儀，光電自準(zhǔn)直儀按其讀數(shù)的方式不同又可分成指針式和數(shù)顯式。
 

　　JJF 1002《國家計量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》、JJF 1001《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094—2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成支撐規(guī)程制修訂工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。與 JJG 202-2007 相比，除了編輯性修改之外，本規(guī)程主要技術(shù)變化如下：
 

　　——增加 0 級自準(zhǔn)直儀。
 

　　——刪除光電瞄準(zhǔn)時靈敏度調(diào)節(jié)引起的指示表指零變化的計量性能要求，并刪除相應(yīng)檢定方法。
 

　　——刪除自準(zhǔn)直光束的平行度對示值的影響的計量性能要求，并刪除相應(yīng)檢定方法。
 

　　——刪除光電自準(zhǔn)直儀鑒別域的計量性能要求，并刪除相應(yīng)檢定方法。
 

　　——增加光電自準(zhǔn)直儀的示值跳動的計量性能要求。
 

　　——修改示值誤差要求、描述和檢定方法。
 

　　——刪除計量器具中的光學(xué)角規(guī)。
 

　　——刪除計量器具中的檢驗平尺。
 

　　——刪除計量器具中的專用光闌。
 

　　——修改檢定項目表。
 

　　——刪除附錄光電自準(zhǔn)直儀用光學(xué)角規(guī)檢定方法。
 

　　依據(jù)JJF 1002《國家計量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》，本規(guī)范在架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；概述；計量性能要求；通用技術(shù)要求；計量器具控制以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)程適用于光電自準(zhǔn)直儀、光學(xué)自準(zhǔn)直儀的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。其他類型的自準(zhǔn)直儀亦可參考本規(guī)程。
 

　　《掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　掃描探針顯微鏡具有高分辨力、實時、原位成像等特征。對樣品無特殊要求，不受樣品的干燥度、形狀、硬度、純度等限制，可在大氣、常溫環(huán)境甚至是溶液中成像。廣泛應(yīng)用于納米科技、材料科學(xué)、物理、化學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。
 

　　JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
 

　　制定本規(guī)范的目的主要是解決工業(yè)中掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)問題。規(guī)范編制中參考了國際上納米計量領(lǐng)域的一些研究理論性研究成果，并以實際納米計量工作中的一些實驗數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)制定了本規(guī)范。
 

　　依據(jù)JJF 1002《國家計量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》，本規(guī)范在架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語和計量單位；概述；計量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時間間隔以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。掃描探針顯微鏡根據(jù)其設(shè)計原理不同，校準(zhǔn)時需要根據(jù)實際情況選擇相關(guān)的計量特性。對有特殊要求的測量任務(wù)，如對溯源要求較高的測量，不在本校準(zhǔn)規(guī)范的適用范圍。