【儀表儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】10月25日，全國新材料與納米計量技術(shù)委員會發(fā)布了《激光衍射法納米光柵線距校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿，并面向有關(guān)單位征求意見。
 

 

　　隨著微納科技與微納產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各類電子和光學(xué)顯微鏡在微納技術(shù)領(lǐng)域的保有量迅速增加。納米光柵線距樣板作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)廣泛應(yīng)用于掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡以及光學(xué)顯微鏡的放大倍率的校準(zhǔn)，是各類顯微鏡測量準(zhǔn)確性的保證。
 

　　2006年，中國計量科學(xué)研究院研制的激光衍射儀參加了Nano5 二維光柵比對。2007年，中國計量科學(xué)研究院依據(jù)自編校準(zhǔn)方法“NIM-ZY-DL-CD-501”建立了計量標(biāo)準(zhǔn)“納米光柵線距樣板校準(zhǔn)裝置”。該自編校準(zhǔn)方法沿用至今。目前，國內(nèi)尚沒有合適的標(biāo)準(zhǔn)文件規(guī)范校準(zhǔn)納米光柵線距的方法和行為，因此迫切要求編制相應(yīng)的校準(zhǔn)規(guī)范，以保證量值溯源的準(zhǔn)確和統(tǒng)一。
 

　　根據(jù)市場監(jiān)管總局2018年國家計量技術(shù)規(guī)范制定、修訂計劃，受全國新材料與納米計量技術(shù)委員會的委托，由中國計量科學(xué)研究院負(fù)責(zé)制定《激光衍射法納米光柵線距校準(zhǔn)規(guī)范》，同濟大學(xué)作為參加單位參與了本技術(shù)規(guī)范的制定工作。
 

　　JJF1001《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1071《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1059《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
 

　　在本規(guī)范編制過程中，重點參照了以下國家標(biāo)準(zhǔn)及計量技術(shù)規(guī)范：JJF 1001-2011 通用計量術(shù)語及定義；JJF 1059.1-2012 測量不確定度評定與表示；JJF 1071-2010 國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則GB/T 13962-2009 光學(xué)儀器術(shù)語；IEC/TS 62622:2012 Nanotechnologies – Description, measurement anddimensional quality parameters of artificial gratings。
 

　　按照J(rèn)JF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》的要求制定納米光柵線距的衍射法校準(zhǔn)規(guī)范，在內(nèi)容和格式上與JJF 1071-2010 保持一致。校準(zhǔn)規(guī)范的具體內(nèi)容有范圍、引用文件、概述、計量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果的表達、復(fù)校時間間隔等。(更多詳情請見附件)。
 

　　本規(guī)范為發(fā)布，適用于反射光柵的校準(zhǔn)。