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高產率的瞬態(tài)電子器件研究方面取得重要進展

儀表研發(fā) 2019年10月18日 14:50:39來源:信息科學技術學院 12151
摘要瞬態(tài)電子器件能夠在完成預設的特定功能后自行降解于環(huán)境中,從而避免處理、回收電子廢棄物所帶來的困難以及處理不當所導致的環(huán)境污染。

  【儀表網 儀表研發(fā)】近年來,瞬態(tài)電子學愈發(fā)受到關注。瞬態(tài)電子器件能夠在完成預設的特定功能后自行降解于環(huán)境中,從而避免處理、回收電子廢棄物所帶來的困難以及處理不當所導致的環(huán)境污染。盡管目前利用轉印法在水溶性襯底上制備瞬態(tài)電子器件是可行的,然而這一方法產率較低,電路復雜度有限,也難以大規(guī)模制備。
 
  近日,北京大學信息科學技術學院電子學系、納米器件物理與化學教育部重點實驗室胡又凡研究員課題組,以碳納米管網絡薄膜作為溝道材料,通過轉移加工技術,實現(xiàn)了晶圓規(guī)模、可在環(huán)境中自行降解、具有高產率和高均一性的電子元器件和集成電路,并且在一個人造生態(tài)系統(tǒng)中,實現(xiàn)了對環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測和自行降解。
 
  a-d分別為:器件的晶圓尺寸加工;加工所得到的器件性能高度均一性;器件產率的空間分布;不同芯片的器件產率統(tǒng)計情況
 
  課題組充分利用碳管低溫工藝的優(yōu)勢,在環(huán)境可降解的柔性基底上構建基本電子元器件和集成電路,解決轉印技術產率低的問題:一方面,器件在加工完成后轉印到目標水溶性襯底的成功率高達100%;另一方面,能夠正常工作的器件在所有器件中的平均比例達到96.6%。此外,制備得到的器件具有超高的均一性,晶體管閾值電壓和反相器轉變電壓的標準差分別為55mV和60mV;诟呔恍缘奶脊芫w管制備出可實現(xiàn)軌對軌輸出的基本邏輯門(反相器、與非門、或非門)和基本運算單元(半加器)。他們在一個生態(tài)箱中對植物表面附近的溫度和紫外光強度進行實時監(jiān)測,監(jiān)測完成后,整個檢測系統(tǒng)在人造雨的作用下能夠自行降解。
 
  a-c分別為:位于植物葉片上的傳感系統(tǒng);傳感系統(tǒng)對于環(huán)境中光強和溫度進行實時監(jiān)測;傳感系統(tǒng)在人造雨環(huán)境中的降解
 
  在國家自然科學基金和國家重點研發(fā)計劃等支持下,上述成果以“Wafer-scale high-yield manufacturing of degradable electronics for environmental monitoring(用于環(huán)境監(jiān)測的晶圓尺寸可降解電子器件的高產率制造)”為題,在線發(fā)表于《先進功能材料》(Advanced Functional Materials, 2019, 1905518,DOI: 10.1002/adfm.201905518)。電子學系2015級博士生向立為作者,胡又凡為通訊作者。這一系列成果充分展示了碳納米管在高均一性、高產率、可環(huán)境降解的瞬態(tài)電路中的巨大優(yōu)勢和應用前景,有望用于構建下一代環(huán)境監(jiān)測平臺,并對物聯(lián)網時代的到來起到巨大推動作用。

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