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天津瑞利光電科技有限公司

德國PIEZOSYSTEM JENA旋轉(zhuǎn)平臺ROTOR 原理介紹

時間:2021-9-27閱讀:194

產(chǎn)品型號:ROTOR 10

關(guān)鍵字:PIEZOSYSTEM JENA旋轉(zhuǎn)平臺ROTOR

關(guān)鍵字描述:ROTOR 10是一軸高精度旋轉(zhuǎn)平臺。它提供高達(dá)11µmrad的長轉(zhuǎn)向和掃描范圍。

產(chǎn)品介紹:

/閉環(huán)旋轉(zhuǎn)行程11/9 mrad

/閉環(huán)0.2 / 0.02µrad分辨率

高平面行為

定義明確的旋轉(zhuǎn)中心軸

中心孔徑直徑3mm

溫度補償

ROTOR 10是一軸高精度旋轉(zhuǎn)平臺。它提供高達(dá)11µmrad的長轉(zhuǎn)向和掃描范圍。定義明確的旋轉(zhuǎn)軸位于中心。中心孔也允許軸向光束應(yīng)用。由于這些平臺的FEA優(yōu)化,您可以達(dá)到更高的動力學(xué)性能和較高的平面引導(dǎo)精度。即使在緊湊的設(shè)計中也可以承受高質(zhì)量負(fù)載。優(yōu)化還結(jié)合了好的溫度補償特性。固態(tài)撓性鉸鏈的精密整體式導(dǎo)向設(shè)計意味著該軌跡沒有機械游隙和摩擦力-所有壓電系統(tǒng)耶納級位移臺都具有這一功能。ROTOR 10也可與應(yīng)變儀測量系統(tǒng)一起使用。

參數(shù):

開環(huán)運動(±10):11 mrad

電容:2.8 µF

解析度:開環(huán)0.02 µrad

共振頻率:500 Hz

附加負(fù)載50 g:250 Hz

附加負(fù)載100 g:200 Hz

附加負(fù)載300 g:100 Hz

剛度:0.06 Nm/µrad

負(fù)載:<50 N

旋轉(zhuǎn)誤差ΘX/ΘY:35/35µrad

尺寸l x h x d:42 x 23 x 42 mm

中心孔徑:3 mm

電壓范圍:-20…+130 V

連接器:電壓ODU 3針

材料:不銹鋼/陽極氧化鋁


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