微流量傳感器包含有兩個(gè)被加熱到大約120 °C的鎳格柵，這兩格鎳格柵與兩個(gè)補(bǔ)充電阻一起構(gòu)成一個(gè)惠斯通電橋。脈沖氣流會導(dǎo)致鎳格柵電阻發(fā)生改變，這就會導(dǎo)致在電橋中生成一個(gè)取決于樣氣中氧氣濃度大小的偏移量。

如果測量地點(diǎn)出現(xiàn)頻繁的振動，則就會使測量信號出現(xiàn)錯(cuò)誤（噪音）。所以就應(yīng)使用另外一個(gè)無氣體流過的微流量傳感器（26）。該傳感器被用作振動傳感器并且它的信號與測量信號相連以對測量信號進(jìn)行補(bǔ)償。
        如果樣氣密度與參比氣密度之差超過參比氣密度的50 %，那么用于補(bǔ)償?shù)奈⒘髁總鞲衅鳎?6）就應(yīng)像用于測量的微流量傳感器一樣用參比氣進(jìn)行吹掃。
        因?yàn)槲⒘髁總鞲衅魇俏挥趨⒈葰饴分械?，不直接接觸樣氣，所以樣氣的熱導(dǎo)率、比熱或內(nèi)部磨擦不會對測量造成任何影響。同時(shí)，這也避免了樣氣對微流量傳感器的腐蝕，使得微流量傳感器的抗腐性能大大提高。
        通過改變磁場的強(qiáng)度（24）來使微流量傳感器的背景氣流作用不被檢測到，因此儀器擺放的方向也就對測量沒有影響。
       因?yàn)闃託馐沂侵苯又糜跇託饴分胁⑶殷w積小，所以O(shè)XYMAT 通道的響應(yīng)時(shí)間非常短。
 

與其它幾乎所有氣體不同，氧氣具有順磁性。OXYMAT通道正是利用氧氣的這一特性來進(jìn)行氧氣濃度測量的。
       在不均勻磁場中，氧分子由于其順磁性，會朝著磁場力增強(qiáng)的方向移動。當(dāng)氧氣濃度不同的兩種氣體在同一磁場中相遇時(shí)，它們之間將會產(chǎn)生一個(gè)壓力差。
       對于OXYMAT通道，一種氣體（17，圖3-4）是參比氣（N2, O2 或者是空氣），另外一種氣體就是樣氣（21，圖3-4）。參比氣從雙通道（19）進(jìn)入到樣氣室中（22）。其中一路參比氣在磁場區(qū)域內(nèi)（23）與樣氣中的氧氣相遇，另一路參比氣不與氧氣相遇（或者僅僅遇到極少量氧氣），這樣兩路參比氣的含氧氣量將不同。因?yàn)殡p通道是連在一起的，所以與氧氣濃度成比列關(guān)系的壓力將會產(chǎn)生一個(gè)氣流通過微流量傳感器（20）。微流量傳感器測得該氣流并將它轉(zhuǎn)變?yōu)橐粋€(gè)電信號。