產品介紹：
比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野簡化了對較大零件的處理
在整個視場中將光斑失真降至更低，從而將高質量的激光加工零件的加工偏差降至更低
空氣和水冷卻選項提供熱穩(wěn)定性并提高長期精度
適用于各種激光波長的多種鏡面處理選擇
Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計掃描儀提供了傳統(tǒng)兩鏡振鏡掃描儀的替代產品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀，可為關鍵的激光微加工應用提供更大的視野并減少點畸變。
大視野，光斑失真更小
*的光學設計可有效控制光束入射光瞳，使其與X和Y掃描儀運動保持一致，從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設計直接為給定的焦距提供了更大的視野，并減少了整個工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢意味著AGV-SPO能夠更快，更一致地處理大型零件。
設計配置
AGV-SPO可提供多種光學涂層和聚焦光學器件，以支持各種常用的激光波長和焦距。為了滿足其他需求，Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學元件和光學安裝功能。AGV-SPO可以配置有風冷鏡，水冷電機或兩者。這些主動冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運動的情況下，保持工作平面的準確性。
高級編程功能
AGV-SPO利用了Aerotech的所有高級運動和位置同步輸出（PSO）功能，這些功能是針對具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺的激光加工應用開發(fā)的。諸如“加速限制”之類的輪廓功能可用于自動降低急轉彎或小半徑時的速度，以大程度地減小過沖?？梢曰趲в蠵SO的反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光，以確保在掃描儀改變速度時始終保持一致的光斑重疊。Aerotech的無限視場（IFOV）功能無縫地結合了伺服和掃描儀的運動，從而在整個伺服平臺的整個行程范圍內擴展了掃描儀的標記功能，從而消除了在更傳統(tǒng)的移動重復曝光過程中可能發(fā)生的縫合錯誤。
參數(shù)：
光束孔徑：14 mm
掃描角度：max.±20°
光束位移：35 mm
抖動（增量運動min.）：0.3 µradRMS
精度：50 µrad pk-pk
重復性：0.6 µradRMS
增益誤差：0.05 mrad
非線性：0.005％
跟蹤誤差：0 µsec
峰值加速度：60,000 m/s2
連續(xù)加速：20,000 m/s2
定位速度：50 m/s
處理速度：5 m/s5
跳躍和穩(wěn)定時間，移動1 mm：700 µsec
穩(wěn)定性
長期漂移
偏移：10 µrad/12 hrs
15 µrad/24 hrs
增益：10 ppm/24 hrs
熱漂移
偏移：20 µrad/°C
增益：1 ppm/°C
材料：鋁（黑色陽極氧化和藍色噴漆）
MTBF（平均*時間）：20,000
重量：5.1 kg