① 薄膜測量技術指標　　測試范圍：0.001～40 g/m2?24h（常規(guī)）　　0.01～1000 g/m2?24h （可選）　　分 辨 率：0.001 g/m2?24h　　試樣數量：3件（數據各自獨立）　　擴展能力：9臺衛(wèi)星機 （1～30件試樣）　　試樣尺寸：108mm×108mm　　試樣厚度：≤3mm　　測試面積：50cm2　　控溫范圍：15℃～55℃（常規(guī)）　　控溫精度：±0.1℃（常規(guī)）　　控濕范圍：0%RH、35%RH～90%RH、RH　　控濕精度：±1%RH　　載氣種類：99.999%高純氮氣 （氣源用戶自備）　　載氣流量：100ml/min　　載氣壓力：0.28MPa，40.6psi　　接口尺寸：1/8 英寸金屬管　　外形尺寸：690mm（L）×350mm（B）×360mm（H）　　電 源：AC （85～264）V （47～63）Hz　　凈 重：70kg
　?、?容器測量技術指標（另購）：　　測試范圍：0.0001～0.2 g/ pkg?d　　分 辨 率：0.00001g/ pkg?d　　試樣數量：3個（數據各自獨立）　　擴展能力：9臺衛(wèi)星機 （1～30件試樣）　　試樣尺寸：控 溫 1個容器：小于Ф180mm，高度小于380mm　　控 溫 3個容器：小于Ф100mm，高度小于380mm　　非控溫 尺寸不限　　控溫范圍：15℃～55℃（常規(guī)）　　控溫精度：±0.1℃（常規(guī)）　　控濕范圍：0%RH、35%RH～90%RH、RH　　控濕精度：±1%RH　　載氣種類：99.999%高純氮氣（氣源用戶自備）　　載氣流量：100 ml/min　　載氣壓力：0.28MPa，40.6psi　　接口尺寸：1/8 英寸金屬管