快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)
測量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動300 mm（200 mm），橫向分辨率為50 nm，電動z軸分辨率為20 nm
2D輪廓，3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x，y，z分辨率，行程為max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非接觸式雙面光學(xué)輪廓儀，具有300毫米x，y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴(yán)重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x，y編碼器信號同步的高度數(shù)據(jù)，并軸向?qū)R以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖，并計算相應(yīng)的總厚度輪廓或貼圖。
運動系統(tǒng)使用快速，準(zhǔn)確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器，可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉(zhuǎn)接板，該系統(tǒng)可以用作標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)表面輪廓儀，使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。
參數(shù)：
集成系統(tǒng)控制器：包括運動控制，傳感器控制器（4 kHz），電源，工作站的USB接口
工作站電腦：查詢當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器
連接方式：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標(biāo)，DVI和模擬視頻輸出
電源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
測量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
線性編碼器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
橫向分辨率：1微米（載物臺分辨率：50 nm）
X和Y的行程限制（電動）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制（電動）：100 mm (4 in)
平臺上的負載：max.10 kg
可用的傳感器：共焦白光傳感器
工作溫度：18°-20°C（64°F – 68°F）
尺寸（長X寬X高）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（約43 x 51 x 56 [in]）
重量：650 kg (1.433 lbs)