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與其它幾乎所有氣體不同,氧氣具有順磁性。OXYMAT通道正是利用氧氣的這一特性來(lái)進(jìn)行氧氣濃度測(cè)量的。
在不均勻磁場(chǎng)中,氧分子由于其順磁性,會(huì)朝著磁場(chǎng)力增強(qiáng)的方向移動(dòng)。當(dāng)氧氣濃度不同的兩種氣體在同一磁場(chǎng)中相遇時(shí),它們之間將會(huì)產(chǎn)生一個(gè)壓力差。
對(duì)于OXYMAT通道,一種氣體(17,圖3-4)是參比氣(N2, O2 或者是空氣),另外一種氣體就是樣氣(21,圖3-4)。參比氣從雙通道(19)進(jìn)入到樣氣室中(22)。其中一路參比氣在磁場(chǎng)區(qū)域內(nèi)(23)與樣氣中的氧氣相遇,另一路參比氣不與氧氣相遇(或者僅僅遇到極少量氧氣),這樣兩路參比氣的含氧氣量將不同。因?yàn)殡p通道是連在一起的,所以與氧氣濃度成比列關(guān)系的壓力將會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣流通過(guò)微流量傳感器(20)。微流量傳感器測(cè)得該氣流并將它轉(zhuǎn)變?yōu)橐粋€(gè)電信號(hào)。
微流量傳感器包含有兩個(gè)被加熱到大約120 °C的鎳格柵,這兩格鎳格柵與兩個(gè)補(bǔ)充電阻一起構(gòu)成一個(gè)惠斯通電橋。脈沖氣流會(huì)導(dǎo)致鎳格柵電阻發(fā)生改變,這就會(huì)導(dǎo)致在電橋中生成一個(gè)取決于樣氣中氧氣濃度大小的偏移量。
因?yàn)槲⒘髁總鞲衅魇俏挥趨⒈葰饴分械?,不直接接觸樣氣,所以樣氣的熱導(dǎo)率、比熱或內(nèi)部磨擦不會(huì)對(duì)測(cè)量造成任何影響。同時(shí),這也避免了樣氣對(duì)微流量傳感器的腐蝕,使得微流量傳感器的抗腐性能大大提高。
通過(guò)改變磁場(chǎng)的強(qiáng)度(24)來(lái)使微流量傳感器的背景氣流作用不被檢測(cè)到,因此儀器擺放的方向也就對(duì)測(cè)量沒(méi)有影響。
因?yàn)闃託馐沂侵苯又糜跇託饴分胁⑶殷w積小,所以O(shè)XYMAT 通道的響應(yīng)時(shí)間非常短。
如果測(cè)量地點(diǎn)出現(xiàn)頻繁的振動(dòng),則就會(huì)使測(cè)量信號(hào)出現(xiàn)錯(cuò)誤(噪音)。所以就應(yīng)使用另外一個(gè)無(wú)氣體流過(guò)的微流量傳感器(26)。該傳感器被用作振動(dòng)傳感器并且它的信號(hào)與測(cè)量信號(hào)相連以對(duì)測(cè)量信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償。
如果樣氣密度與參比氣密度之差超過(guò)參比氣密度的50 %,那么用于補(bǔ)償?shù)奈⒘髁總鞲衅鳎?6)就應(yīng)像用于測(cè)量的微流量傳感器一樣用參比氣進(jìn)行吹掃。
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